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臺式隔振臺

臺式隔振臺

產(chǎn)品型號： EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

所屬分類：隔震臺

產(chǎn)品時間：2024-09-10

簡要描述：日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD
包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時代的需求，并為超微振動提供隔離空間。

詳細(xì)說明：

日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

 

包括半導(dǎo)體行業(yè)在內(nèi)的超精密加工領(lǐng)域的制造、檢測和測量，正在將精密度深化到納米和埃。這是一系列 OS 浮動辦公桌，準(zhǔn)確捕捉這些時代的需求，并為超微振動提供隔離空間。
我們準(zhǔn)備了支持更大直徑的半導(dǎo)體和液晶基板、由于更大的底座而導(dǎo)致更大的檢查設(shè)備和更重的產(chǎn)品陣容。
該系統(tǒng)可以通過與制造檢測線和眾多選項相匹配的簡單設(shè)計進(jìn)行精美配置。

 

EHS/DHS規(guī)范

針對超精密檢查/測量設(shè)備的高性能防振臺?

EHS-68（帶下擱板）

模型EHS-68EHS-78EHS-87EHS-107
隔振臺外形尺寸
(W x D x Hmm)		600 x 800
x 750		700 x 800
x 750		800 x 700
x 750		1,000 x 700
x 750
產(chǎn)品重量（公斤）170190190220
允許安裝重量（kg）120
隔振方式空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP）
固有頻率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
調(diào)平機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分SUS304 拋光處理
選項工作罩、抗震固定支架、下擱板
其他可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能）
符合RoHS指令

 

臺式隔振臺 DHS

DHS 系列是在 EHS 系列上帶有工作罩的型號。您可以工作而不必?fù)?dān)心觸摸浮動部分。?

DHS-68（帶下擱板）

模型DHS-68DHS-78DHS-87DHS-107
隔振臺外形尺寸
(W x D x Hmm)		650 x 850
x 750		750 x 850
x 750		850 x 750
x 750		1,050 x 750
x 750
產(chǎn)品重量（公斤）175195195225
允許安裝重量（kg）120
隔振方式空氣彈簧和擺球支撐系統(tǒng)（PAT .P / USP）
固有頻率 (Hz)垂直方向 1.6 ~ 2.2 水平方向 1.2 ~ 1.8
調(diào)平機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分SUS304 拋光處理
選項抗震固定支架，下擱板
其他可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能）
符合RoHS指令

日本特許機(jī)器tokkyokiki臺式隔振臺EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

DAS/SRD/SVD規(guī)格

臺式隔振臺DAS

兼容光學(xué)顯微鏡/粗糙度儀等大負(fù)載?

DAS-68（帶下層架）

模型DAS-68DAS-78DAS-87DAS-107
隔振臺外形尺寸
(W x D x Hmm)		650 x 850
x 750		750 x 850
x 750		850 x 750
x 750		1,050 x 750
x 750
產(chǎn)品重量（公斤）180200200230
允許安裝重量（kg）200
隔振方式空氣彈簧
固有頻率 (Hz)縱橫2.0-3.0
調(diào)平機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa
浮動部分SUS304 拋光處理
選項抗震固定支架，下擱板
其他可用于無塵室（帶集中排氣機(jī)構(gòu)和防靜電接地功能）
符合RoHS指令

 

臺式隔振臺 SRD/SVD

配備測量顯微鏡/粗糙度儀等。?

SVDA (wing, Saidodesu
click (ED), monitor stand, mouse
scan / with keyboard stage)

模型SRDASVDASRDC直流電源SRDR
隔振臺外形尺寸
(W x D x Hmm)		590 x 720
x 715		770 x 720
x 715		590 x 720
x 715		770 x 720
x 715		590 x 720
x 715
產(chǎn)品重量（公斤）701057010570
允許安裝重量（kg）12020012020045
隔振方式空氣彈簧特制橡膠彈簧墊
固有頻率 (Hz)縱橫2.0-3.0垂直和水平 8.0 到 12.0
調(diào)平機(jī)械泡自動找平方式：供給壓力0.4Mpa手泵補(bǔ)水手動調(diào)節(jié)特制橡膠彈簧墊
浮動部分SPCC（三聚氰胺樹脂涂層）
選項側(cè)翼、側(cè)桌 (ED) ED、顯示器支架、鼠標(biāo)/鍵盤支架

關(guān)于臺式隔振臺的使用：如果安裝設(shè)備的重心位置超過短邊標(biāo)示尺寸的1/2高度，請聯(lián)系我們。



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